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产品概览
核心优势
全自动化：同时配备自动上料↑机、自动下料机，匹配信息化管理要求∞与无人化管理趋势。
防止整线宕机：作业轨/传◥输轨分离，单台⌒停机不影响整线运行。
满足信息化管理√需求：实时MES系统对接，上传生产状态信息，系统异常★状态报警。支持SECS/GEM半导体〓通讯协议。
严格温控：在晶ζ 圆流转与作业全过程中对温度进行精细管控并自动校正，满足CUF工艺需求的同时，保障产品生产。
百级防尘设计?专用于环保车间ζ（通过建模与仿真，配置防尘部件及线缆，气体过滤等）；
ESD防静电设计（符合IEC61340、ANSI/ESDS20.20标准) ；
防震动（矿物质框架，具有良好吸震性，有效减少高速运动带来的冲击）。
系统组成
规格参数
RS-100 | 基本参数 |
外形尺寸 mm | 960×1240×1467（W*D*H） |
重量 kg | 标准机：900 |
用电需求 | 电压220V，50HZ，电流16A |
气压需求MPa | 最小气压0.6 |
设备功耗W | ≦2500 |
有效行程 mm | X550*Y510 |
轨道高度mm | 900±30 |
轨道承重（含载具）Kg | 4.5 |
最大基板厚度 mm | 5.5 |
轴数 | X、Y、Z |
驱动方式 | X/Y/Z轴采用伺服马ㄨ达+精密滚珠丝杆 |
定位精度 | ±15um(X\Y)；±15um(Z) |
重复精度 | ±10um(X\Y)；±10um(Z) |
最大速度mm/s | 1000(X/Y)；300(Z) |
最大加速度 | 1g(X/Y)；0.3g（Z） |
视觉定位系统 | 工业CCD |
计算机及软件 | Windows 系统开发下软件 |
